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    转向自研!三星内部开发“智能传感器”

    编者:曾颖@芯闻道 阅读449 来源: 东方财富网 2023/12/28 01:39:57 文章 外链 公开

    三星电子正在开发自己的“智能传感器系统”,用于对半导体工艺的控制和管理。这项新技术有望提高半导体良率、提高生产率。


    据ETNews报道,三星电子内部已经开始了智能传感器系统的研究与开发,预计未来将应用于无人驾驶和人工智能半导体制造过程。该项目据悉正在与有关伙伴和学术界合作进行。


    精确测量和管理等离子体条件,被认为是半导体生产工艺中的重要工作之一,因为只有在半导体制造过程中精确控制等离子体的均匀性和密度,才能提高半导体良率、确保产量。


    而“智能传感器系统”可以用于测量晶圆等离子均匀性,准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能,有望实现产能的提高。


    该公司现有的晶圆智能传感器大部分采购自国外厂商,耗资巨大。而近期,鉴于对提高产量和生产率的需求不断飙升,三星选择转向内部研发,降低对外国传感器的依赖程度。


    此外,三星电子正在开发的智能传感器据悉是超小型的,不会对现有设备空间造成太大影响。这意味着还能够提高空间利用率。


    三星电子还计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围。其目的是开发智能传感器和系统,可用于各种半导体工艺,而不限于等离子体。


    上述举动是三星对构建智能半导体生产系统的尝试,或许最终有望实现“人工智能晶圆厂”。


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