X-RAY透视
X-RAY透视是利用X-Ray穿透不同密度物质后其光强度的变化不同,产生的对比效果可形成影像,即可显示出待测物件内部结构,进而达到在不破坏待测样品的情况下,知晓芯片内部是否有缺陷,主要检查芯片的引脚框架,晶圆尺寸,金线邦定图是否有内部结构分层缺陷。
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